微位移及铁电性能测试平台

-温度范围：室温-230℃

-位移精度5nm

-激光非接触式测量

-控制施加电压0 到±5kV

-测试频率范围:0.01Hz~1000Hz@0~±5kV

铁电测试模块：

功能：电滞回线测试、I(V) Task 电流-偏压测试、Fatigue Task 疲劳测试。具有漏电与击穿自保护功能

1、控制施加电压0 到±5kV，实时显示电压曲线图

2、测试频率范围:0.01Hz~1000Hz@0~±5kV

3、控制输出电流0 到±50mA 连续可调，实时显示电流曲线图

4、检测电流范围1nA 到1A 连续自动追踪检测，量程精度1nA

5、主机控制电压0-±5 v 连续可调，实时显示电压、电流曲线图

应变测试模块：

1、位移精度5nm

2、激光非接触式测量

3、实现应变曲线显示与记录

4、电压范围0到±5 kV

5、最大量程2mm

温度环境：

1、温度范围：室温-230℃

2、温度精度：±1 ℃

3、升温速率：1℃/min~10℃/min